Equipement de tests semi-conducteurs

Dans le cadre des enseignements sur les micro-nanotechnologie et les dispositifs semi-conducteurs, plusieurs séances de travaux pratiques ont lieu dans les salles blanche du C2N pour des étudiants en formation initiale, formation par apprentissage et formation continue. L’objectif est de fabriquer des dispositifs tels que des Capacité MOS (Metal-Oxide-Semiconducteur), des Diode MOS voire des transistors MOSFET qu’il faut caractériser électriquement. Cet équipement de caractérisation électrique de dispositifs servira à assurer un large panel de caractérisation de micro-nanodispositifs à base de matériaux semi-conducteurs. Il sera connecté à un banc de mesure électriques sous pointes (inferieures à 100MHz) situé dans les salles blanches du C2N. Pour ce faire, il devra comporter au moins 3 SMU (Source-Measure Unit) ayant une gamme de mesure de courant large (du pA à plusieurs 100aine de mA) et de tension (du µV à 40V). Il devra être modulable et pourra permettre d’ajouter aisément un ou plusieurs SMU. Il disposera d’un logiciel intégré qui permettra d’interfacer facilement les caractérisations des dispositifs. Un panel de caractérisation sera déjà implémenté et il sera possible de les personnaliser et d’en ajouter des nouveaux.