Acquisition elipsiomètre in situ
Le contrat porte sur les prestations suivantes : Achat et installation d’un Ellipsomètre in situ. Dans le cadre de ses recherches, le GREMI souhaite acquérir un ellipsomètre in situ afin de mesurer l’épaisseur gravée ou déposée lors de procédés (ALD/ALE) dédiés à la microélectronique. Le fournisseur devra proposer un ellipsomètre in situ, pour des mesures en temps réel et l’installer sur un réacteur plasma équipés de brides DN40 en vis-à-vis (avec un angle de 70°).
Client
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
Marché
Fournitures
Région
Centre-Val de Loire
Procédure
Procédure formalisée
Publié le
14/04/2025
Alloti
Non
Clôture
05/05/2025 Marché clôturé
Lien source
Ce marché est clôturé
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