Jouvence d’un système de traitement thermique et d’oxydation de silicium pour le Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N) du CNRS

Les prestations comprennent à minima : • La conception et la validation de l’architecture du contrôle-commande et de la supervision ; • La fabrication et l’assemblage des éléments du contrôle-commande (racks, API, équipements auxiliaires) ; • La préparation et la configuration logicielle du système de supervision et de l’interface opérateur ; • Le raccordement et la mise en conformité des circuits d’exhaust (armoire et process) ; • L’intégration sur site, incluant les raccordements et ajustements techniques ; • La remise en service de la fonction de nettoyage automatique ; • La révision et, le cas échéant, le remplacement des pièces identifiées comme obsolètes ; • La vérification de l’homogénéité de température des tubes avant et après modification ; • La mise en service et les essais fonctionnels ; • La formation des utilisateurs et la remise des documents contractuels. La description détaillée des prestations et de leurs spécifications techniques et fonctionnelles figure dans le cahier des clauses techniques particulières (CCTP).