Fourniture d’un appareil de mesure de la résistance d’une jonction Josephson

L'outil doit être capable de mesurer le produit Résistance-Surface (RA) sur des films de couverture de jonctions Josephson (JJ) et doit être placé dans un environnement de salle blanche. L'équipement doit être capable de manipuler des tranches de silicium de 200 mm, mais aussi des morceaux de tranche (d'une taille d'au moins 20x20 mm).