Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Pour ses activités de recherche et le développement de ses partenariats, CEA LETI souhaite acquérir un système d’inspection optique dédié aux wafers non structurés, capable d’inspecter des diamètres de 100 mm, 150 mm et 200 avec une sensibilité avancée. Le système sélectionné devra être en mesure d’inspecter des substrats de différents matériaux et épaisseurs.