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Fourniture d'un équipement de gravure par plasma 300mm

Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin.

Client

Autres organismes

Marché

Fournitures

Région

Auvergne-Rhône-Alpes

Procédure

Procédure négociée

Publié le

11/07/2025

Alloti

Non

Clôture

18/08/2025 Marché clôturé

Lien source

Détails de l'avis
Mots-clés

Ce marché est clôturé

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